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第1001章 殊途同归的EUV(4 / 6)

道你要去宏芯那边,我也过去看看。”李明柳一脸的坦然,随着傅振华呵呵地开锁,他一把拉开车门,先一步钻了进去。

苏远山:“……”

不得已,苏远山也钻进了后座,随后韩依依替他关上车门,回到前排后,傅振华便启动汽车,缓缓驶向大门。

苏远山偏头望向李明柳,看了几眼后摇头感慨:“你这家伙,老张都没你积极。”

“老张是腿脚不利索了,再说他那边本就有宏芯的实验室,刻关注到的……我一天到晚哪有空过去啊?”李明柳耸了耸肩,随即便正色:“你刚才说验证机,是计中还是什么?”

“据说已经计完了。”

“嗯,是全反射式的?光源搞定没有?”

“光源据说还差一,但验证机嘛,主要是验证思路的,不是要解决所有问题的。”苏远山深深地吸了口气,轻声道。

他确实很想看看宏芯这边的验证机计方案是什么样子的。

——后世,euv光刻机的概念图到处都是,但现……即便是asml前两年“断粮”的候,都没有公开计图。

李明柳听了便了头,不再说话。

汽车一路驶出大门,上了正道后右侧拐了个弯,紧接着又前进了两千米左右,便抵达了宏芯的大门。

当看到车牌和挡风玻璃下的通行证后,门口的保安直接放行。奥迪便沿着一条弧形的园区路驶向光学实验中心。

头发白了一般,但神异常矍铄的郑振川着一大群人站门口,看到苏远山的座驾后,远远地便挥舞了手。

……

“郑叔!”苏远山呵呵地伸出双手,和郑振川紧紧的握着。

随后,李明柳倒是矜持了,只是一只手握着,不过他喊的是“郑所”。

——一段很人已经忘记了的历史是,当初远芯支援成光所搞第一台光刻机的候,李明柳是远芯团队的负责人,他曾经成光所呆了接近一年,期间还和计工程师拍过桌子。

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