李工,这个系统的分辨率,在第二步的时候能不能做到5μm乃至更好一点?”
他想搏一搏。
李工听了他的话,摇了摇头。
“很难,现在这个,已经是我们的极限了,别的不说,加工成本就极为高昂,再提高到你说的那个程度,我们现在这种人工加工再优选的方法就已经不一定实用,加工成本将极为高昂,完全没法量产。”
高振东没有被吓住:“如果不计成本,只要一套或者几套呢?”
李工眼睛一亮,然后又暗淡下来:“那加工倒是有可能,但是再提高的话,我们的材料撑不住,依然没有意义。”
“材料?什么材料?”高振东打破砂锅问到底。
“光学玻璃,我们现在用的是冕牌光学玻璃,其参数如透光性、热膨胀系数等不是太好,要么影响光学调制传递函数这些关键指标,要么影响其环境适应性,微小的温度波动都可能造成性能的劣化,就现在这个,都是有严格的工作温度范围要求的。”
又回到老问题上了,材料。
冕牌光学玻璃,不是一个品牌,而是光学玻璃的种类。第2/2页)
这些高振东就是真的不懂了,除了355nm的工作波长和放大倍率1之外,其他的他都不清楚:“李工,这意味着什么?”
李工不以为意,这位毕竟不是搞光学的:“这意味着他的分辨率为9μm。”
9μm?高振东一下子就炸了,这个分辨率,搭配较小的形变,10μm线宽不是梦啊。
“李工,那图像的形变情况怎么样?”
“很小,最大场曲在15μm范围内,最大像散在7μm左右,总体畸变小于1ppm,像面不均匀性小于2%,我想对于你们的要求是完全没有问题的。”李工笑道,对此他也颇为自得。
这个机器,高振东要求的投影直径是160mm左右,1ppm的畸变,意味着不到1μm,这对高振东的想法来说是完全足够了。
高振东哈哈大笑: