室外,指着试验室道:“高总工,这里面,就是你们要的激光扩束光学系统了,现在已经处于待机状态。”
高振东精神一振,在李工的带领下,换上防护服,进入了试验室。
防护服不是保护高振东他们的,而是保护设备的,确保不能有大量粉尘等进入试验室。
映入高振东眼帘的,是一个略显圆柱形的金属物体,大部分光学系统都被包裹在内,侧面靠中间位置开了一个口,这个口子是用来放掩膜的。
高振东和负责机械的同志仔细端详着这个机器,光学所的同志向他们介绍:“这个机器工作波长355nm,光学调制传递函数在理想位置大概是0.63左右,光程差小于四分之一波长,数值孔径0.029,放大倍率1。”
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这些高振东就是真的不懂了,除了355nm的工作波长和放大倍率1之外,其他的他都不清楚:“李工,这意味着什么?”
李工不以为意,这位毕竟不是搞光学的:“这意味着他的分辨率为9μm。”
9μm?高振东一下子就炸了,这个分辨率,搭配较小的形变,10μm线宽不是梦啊。
“李工,那图像的形变情况怎么样?”
“很小,最大场曲在15μm范围内,最大像散在7μm左右,总体畸变小于1ppm,像面不均匀性小于2%,我想对于你们的要求是完全没有问题的。”李工笑道,对此他也颇为自得。
这个机器,高振东要求的投影直径是160mm左右,1ppm的畸变,意味着不到1μm,这对高振东的想法来说是完全足够了。
高振东哈哈大笑:“李工,太谢谢你们了!辛苦辛苦!”
李工笑道:“能满足你们的要求就好,今天时间也比较晚了,具体的其他事务,我们明天继续怎么样?”
高振东在兴奋中连连点头:“好,今天就不麻烦同志们了,我们明天再继续。”
当天晚上,高振东辗转反侧,想了半个晚上。