负光刻,只要能确定是哪一种,他就能展开下一步的工作了——做掩模。
不知道能搞出来的光刻胶的正负,这一步就走不下去,原因很简单,两者的掩模是反的。
至于另外一个东西,也有了明确的消息。
东北光学所已经把第一步的光学系统搞出来了,也就是把一束激光扩散为直径160mm平行光的问题。
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其实这一步的光学系统并不是特别的困难和复杂,之所以花了这么长时间,主要是光学系统不是把几个透镜摆上去那么简单。
哪怕第一步并不需要重新聚焦,但是扩束准直、均质这些光路还是少不了的,而且还要考虑工程上的可靠、可用、调节、维护等问题,可以说,光路的设计,只是这里面的一部分。
虽然搞出来了,但是直接交付还是有些差距的,东北光学所的同志,还是希望课题的提出者能过去实地看看,也方便他们做最后的调整和完善。
不过东北光学所那边并不知道具体的课题提出者是谁,只好通知十二机部转达。
高振东想了想自己的时间,决定过去一趟,能外出一个月,怎么都够了,而且这边的其他项目也不可能让自己长期离开。
计算了一下时间,他回复十二机部的同志,自己准备在下周星期三过去。
放下电话,高振东开始安排自己的工作。
6011会战这边倒是不用担心,进度一切正常,有点儿小问题课题组的也基本上都自己解决了。
京城工大那边的课程倒是个问题,不过考虑到自己大概率是十天之内就能来回的,所以这个问题倒也还好,安排得好的话,也就只需要调整一个星期的课而已。
他安排下周星期三才过去,就是这个原因,上完星期二的课才走。
其他的,就剩一个最重要的事情了,加工掩模。
高振东拿出了三套图纸,这是他准备首批投入试验的三种芯片。
数字逻辑电路很多,但是高振东