架子上一共有几十片100mm直径的晶圆。
这些晶圆是梁老这段时间内,用许阳设计的单晶炉生产出来的。
只生产了一条单晶硅柱,然后切割成几十片晶圆。
李涛带着手套,小心翼翼地用水冲洗着晶圆,然后再进行去离子操作,彻底清除掉上面的污染物和金属离子。
紧接着李涛又进行了增黏处理,以便更好的粘附光刻胶……
整个实验室鸦雀无声,所有人都在旁边紧张看着这一幕,只剩下许阳不时出声指导操作。
完成这一切之后,李涛开始涂抹光刻胶,整片晶圆放在一个匀速旋转的操作台上,把光刻胶均匀涂抹到整片晶圆上面……
然后便是芯片生产最重要的步骤!
光刻!
晶圆被放置在一台桌子大小的光刻机工件台上。
“打开光源进行光刻!”
许阳立马冷静吩咐道。
旁边有人开始通电,一盏高压汞灯的光源,猛地绽放出光芒,然后照射在光掩膜上面。
光掩膜是芯片的蓝图,是一张刻有集成电路版图的玻璃遮光板,光线从光掩膜上面透过,照射在硅晶圆上面,通过与光刻胶的反应,便留下了我们想要的集成电路图。
只见光线从光掩膜透过之后,穿过两块球形反射镜,准确无误的1:1投射到了硅晶圆上面,完美贴合到了一起。
光线中的紫外线会与光刻胶进行反应,造成光刻胶硬化或者疲软,然后被特定的溶液清除,晶圆上就留下了我们想要的电路图案。
当然,芯片还需要进行刻蚀和沉积工作,注入特定的离子,形成一个个晶体管。
这是一个非常耗时的工作,这一系列流程需要进行数十次,甚至数百数千次才能打造出复杂的电路网络……
时间在一点点流逝,所有人大气都不敢出,只能看着工作人员不断重复的工作。
连中午饭点到了,也没有一个人说要去吃饭。
由于光刻工