“咱们真的要把光刻机给拆开?”
净室内,白马的双手都在忍不住颤抖。
这玩意一台价值千万,全华夏都只有那么屈指可数的几台,不得不说王向中是真的会玩。
“不拆怎么行,不拆,怎么学习人家的先进技术?”王向中笑道,手上那可是一刻都没闲着。
此时的他正带领着几个研究生,拿着螺丝刀和扳手,正在一丝不苟地拆卸着眼前的康尼光刻机。
尽管李东对此事表示万分反对,但在王向中的威逼利诱之下,他也不得不接受这一切,毕竟条件太诱人了——免费的工艺提升,又有谁能拒绝这个条件呢?
但一下子要让厂里损失五分之一的产能,每个月损失高达数百万,这也让李东心痛不已,但是一想想晶华的未来,他最终还是忍了下来。
将防震装置卸下,撬开光刻机上的钢制盖子,其中的透镜组以及工作台便露出了水面。
“我们现在不着急把透镜组拆开,我们先通过厂里留存的数据和物镜组的物理结构,画一个模型,测算一下理论数据。”
王向中指着透镜组说道。这款尼康NSR-1010g的透镜组高约1.2米,直径约在10-20厘米范围之间,与后世出现的DUV光刻机镜头不同,它整体呈现一个两头细、中间粗的样式。
这是一组典型的远心镜头设计,远心镜头设计的好处就是它可以在一定的物距范围内,使得到的图像放大倍率不会变化,这对被投影物不在同一物面上的情况是非常重要的应用。
透镜组中含有17块直径大小、球面曲率皆是有所不同的凸透镜和凹透镜,其中部分球面镜可以使用位置调节功能,用于调整透镜的散射和误差。
因为在光刻过程中,当激光通过透镜组时,透镜本身还会吸收激光本身的部分能量,导致透镜受热膨胀,最终使其密度发生变化,折射率改变。
因此在这根透镜组管上,还有不少预留于通风的管道和加热装置