曙光光刻机公司，视察浸润式光刻机的开发情况。
林本坚得知赵烨来到了曙光光刻机公司，没来得及换衣服，就直接穿着一身白色的防护服从实验室走了出来。
“林总，我听秘书说，浸润式光刻机的开发取得了突破性的进展？”赵烨询问道。
“是的，赵董！”林本坚点头道，脸上洋溢着成功的喜悦。
当即，林本坚开始给赵烨介绍什么技术被攻克。
“光刻机的核心包括光源系统、物镜系统和工作台。”
“其中，最难的还在物镜系统上，浸润式光刻机要在晶圆光刻胶上方加1mm厚的水，然后在水中折射的193nm光波会变成134nm光波，因此物镜系统也会与普通光刻机大不相同。”
“物镜是最为昂贵和复杂的部件之一，涵盖了光学、机械、计算机、电子等多个学科领域的最前沿技术。其结构设计难度极大，需要控制物镜波像差以及全面控制物镜系统的偏振像差。”
“蔡司公司一直积极配合我们，最后总算双方合力，将物镜系统开发成功了！！！”
尽管距离物镜系统开发成功已经过去了一两天，但林本坚的脸上依旧难掩激动之色。
赵烨闻言，不禁有些感叹，幸好是自己给蔡司公司大力支持，支持他们在研发上不惜血本，所以才能在1994年就取得了很大的技术突破。
其他公司就算是想要开发浸润式光刻机，恐怕也买不到镜头，也就开发不出浸润式光刻机，至少2000年以前，应该都是这样。
无疆微电子公司将长期处于技术领先地位，全球芯片代工业务，吊打台积电、Intel……
“走，带我们去实验室看一看！”赵烨好奇地说道，想要看看物镜系统是什么样子。
“好的，赵董，请随我来。由于实验室是防尘实验室，所以在进去之前，需要换上防护服。”
……
此时，刘茵茵联系了飞利浦和阿斯麦公司的高管，传达了赵烨的意思。