自从滚磨机制作完成之后,晶圆厂的精度就从提拉单晶硅柱,变成了分段滚磨。
很快就有数十个单晶硅段已经滚磨完成,等待着多线切割机,将单晶硅段切片。
接下来的几天,苏晨每天都在实验室进行着机器的组装。
多线切割机、倒角机、精磨机、刻蚀机……
苏晨每天都会加班,一台台机器按照图纸成功完成。
滚磨好的单晶硅段被切片,然后通过机械打磨,让表面平整,并且将厚度减到微米。
随后利用倒角机,将边缘做成直角。
紧接着用精磨机再次去除微米左右的厚度。
最后放入刻蚀机中,进行杂质的溶解。
这就是目前晶圆片所能到的步骤。
不过想要正式放入光刻机之中,还需要两步。
首先是化学机械抛光,然后是涂抹光刻胶。
今天的任务就是给晶圆片抛光!
此时抛光机已经正式完工!
正在进行通电的实验!
“报告,电压正常,各个零部件之间没有坏损。”
“启动成功!”
连接上电源,机器一次性点亮!
所有人都欢呼了一声。
“总算搞定了,这样的话,明天到了净室,就可以进行加工试验了!”
“是啊,要是明天的实验可以成功,我们的项目就是大功告成!”
“一定没问题的!”
“嘘,你们看,苏工又出去了!”
“十点了,肯定又是给女朋友汇报工作去了!以后一定是个妻管严!”
“鬼扯,这叫做贴心顾家有责任心!!每天给女朋友报平安,有这样的男友真让人安心!”
“是啊,苏工这几天打电话时间越来越长了!”
“……”
苏晨完全没有听到同事的议论。
这几天下来,研发出来的机器都是一次性点亮成功!
他发现,似乎真