第343章 有分量!(2 / 4)

前一世的2002年,鬼才林本健横空出世,他在一次交流会上,首次提出“沉浸式光刻”方案。

他的理论听起来很简单,就是利用水会影响光的折射率这一高中知识,在透镜和硅片之间加一层水,这样原有的193nm激光经过折射,不就直接越过了157nm的瓶颈,降低到了132nm吗?

随后,林本健带着他的沉浸式光刻方案前往米国、岛国、德国等地,游说各家半导体巨头,但都吃了闭门羹。

在这些巨头门看来,这只是理想情况,在精密的机器中加水构建浸润环境,既要考虑实际性能,又要担心污染,如果在这种“替代方案”花费精力,耽误了光源的研究,就有可能被对手反超。

因为林本健的这个想法太过简单或者说太过理想化,而且等于否定了其它巨头正在走的技术路线,遭到了各大半导体巨头的集体拒绝,而且一度给台积电施压制止林本健到处乱窜搅局。

当时在光刻机领域市场份额较小的荷兰厂家阿斯麦知道这个事情后,决定赌一把,因为这时候在市场里本来也无法和尼康等巨头竞争,他们押注沉浸式技术有可能实现以小博大。

于是林本健和阿斯麦双方一拍即合,双方合作仅用一年多的时间,也就是在2004年,阿斯麦就做出了第一台样机。

而林本健随后又说服了台积电使用这个方案,并完成了产品生产,让台积电在芯片制程技术上一举追上了之前遥遥领先的巨头英特尔。

台积电成功批量生产证明了浸入式技术的工艺可能性,而且浸入式属于小改进大效果,产品成熟度非常高,随后英特尔、IBM等公司纷纷决定跟进,购买阿斯麦的光刻机。

而尼康虽然随后也宣布自己的157nm产品样机完成,但是因为整个的技术并不是非常成熟,良品率还无法保证,没有人愿意购买它的产品。

随后,发现市场风向不对,尼康被迫将之前的研发成果浪费,开始做浸入式光刻机。

但此时,尼康却是已

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